LDI激光直接成像曝光机在陶瓷基板成像领域的应用

陶瓷基板 LDI 激光直接成像曝光机

其应用于载板、软板、HDI板、多层板，精细的解析品质，优化的工艺，提供高效的陶瓷基板行业解决方案。

LDI激光直接成像曝光机有多种多种涨缩选择，所以具有更高对准能力，其拥有自动涨缩功能、固定涨缩功能和量

测涨缩功能。内层对准精度20μm，外层对准精度±10μm。

针对陶瓷基板的工艺特殊性，LDI曝光机可曝光300-400μm的膜厚，精细解析度，解析度可达1.2μm，最小线宽

15μm（依据配置）。LDI激光直接成像曝光机支持全台面曝光，线宽线距可达25/25μm.适合应用于内层、外层、陶

瓷基板的激光直接曝光。

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